簡要描述:RK3H000701,性能要求派克導(dǎo)式溢流閥MV - 14手動PFA 停止旋塞閥是專為純度的半導(dǎo)體應(yīng)用。該設(shè)計(jì)采用了純度的PFA 模機(jī)構(gòu),以及加工聚四氟乙烯干。壓裝干了它與身體的操作過程中泄漏密封。955 Y是一個(gè)Veriflo經(jīng)過驗(yàn)證的超純度,低量元件內(nèi)部復(fù)雜的設(shè)計(jì)。節(jié)省空間和減少焊接,使過程控制和955Y的系統(tǒng)。
RK3H000701,性能要求派克導(dǎo)式溢流閥
17系列閥提供了一個(gè)流動性,積極關(guān)閉了純度流體關(guān)閉系統(tǒng)。
這1 / 2"和3 / 8"彈簧式隔膜閥提供手動和氣動從
真空到3000 PSIG中的壓力范圍應(yīng)用提供的泄漏完整性。
以滿足半導(dǎo)體制造商的OEM工具,并指出了具體要求,對使用的天然氣運(yùn)輸系統(tǒng)。
功能齊全的真空條件下。
閥的工作有快90 °旋轉(zhuǎn)操作,有一個(gè)完整的1 / 8"孔。
其中一幅精密成型加工干和純度的PFA機(jī)構(gòu)保持系統(tǒng)的純潔性
MV - 14手動PFA 停止旋塞閥是專為純度的半導(dǎo)體應(yīng)用。
該設(shè)計(jì)采用了純度的PFA 模機(jī)構(gòu),以及加
工聚四氟乙烯干。壓裝干了它與身體的操作過程中泄漏密封。
955 Y是一個(gè)Veriflo經(jīng)過驗(yàn)證的超純度,低量元件內(nèi)
部復(fù)雜的設(shè)計(jì)。節(jié)省空間和減少焊接,使過程控制和955Y的系統(tǒng)。
化學(xué)材料制成的抗腐蝕性的環(huán)境中適合所有組件
許多配置,包括Parflare,可以直接安裝,減少額外的連接和降低成本
的大Cv值低蒸氣如WF6和氯化氣體壓力氣體,如CI2和BCI3。
Parker Hannifin公司的Veriflo部介紹955Y。該955Y是
一個(gè)自定義設(shè)計(jì)的純度,流量隔膜閥多方面的,設(shè)計(jì),
RK3H000701,性能要求派克導(dǎo)式溢流閥